三氯化氢硅，化学式为SiHCl3，该物质可看成由硅烷演变而来。硅烷，化学式SiH4，分子结构为正四面体，与甲烷（CH4）相似，碳和硅是同一主族元素，所以化学性质相似。SiHCl3可看成是SiH4中的三个氢原子被三个氯原子替代，所以该物质中，硅为+4价，氢和氯一样，均为—1价。