分别是荷兰阿斯麦尔、日本尼康和佳能、中国上海微电子。

目前世界上能够制造光刻机的公司只有四家，并没有十大光刻机公司。四大光刻机公司分别是可以制造高端euv极紫外光光源光刻机的荷兰阿斯麦尔公司，该公司能够制造euv和duv光刻机。日本的尼康和佳能可以制造duv光刻机。中国上海微电子也是制造duv光刻机。