氟化氮又称三氟化氮，化学式为NF3，一种无机化合物，常温常压下为无色气体，熔点-207 ℃，沸点-129 ℃。无色、无臭、不溶于水和碱，化学上较惰性，但赤热时与金属、非金属作用，与油和脂肪发生反应，与氢气激烈作用。是一种强氧化剂，是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体，还可用作高能燃料。