①因为等离子清洗机在氩气和其它元素之间缺乏稳定的化合物形式，这样相对于利用其它气体作等离子气体，会比其他稀有气体的费用较低，而且氩气占空气中的1％，是最可能得到的，在工艺、细节上也比较容易获取。

②等离子清洗机特点：

主要特点：

1.通过控制面板的按键及开关，可控制调节射频功率、真空泵的开闭、清洗时间。

2.时间、功率、真空度等信息显示在一组4位数码管上。

3.设有一个三通阀，可精确控制进气流量，以及大气流清洗腔体。