真空泵温度太高。

1、被抽气体温度过高。在进入真空泵之前让气体冷却。

2、吸入硬物磨损真空泵体。必须拆卸真空泵，清除硬物，修理或更换划伤零件。3、真空泵流量的冷却水不够。冷却水必须加流量。

4、安装不当导致转子轴移动，造成一侧磨损。检查时必须拆卸并重新组装。