1、前工序以单晶硅片的加工为起点,以在单晶硅片上制成各种集成电路元件为终点
2、后工序即封装测试环节,以最终制成集成电路产品为终点。
对于逻辑器件,简单地说,首先是在衬底上划分制备晶体管的区域,然后是离子注入实现N型和P型区域,其次是做栅极,随后又是离子注入,完成每一个晶体管的源极和漏极。
这部分工艺流程是为了在衬底上实现N型和P型场效应晶体管,又被称为前道工艺。
原创 | 2022-12-08 13:12:28 |浏览:1.6万
1、前工序以单晶硅片的加工为起点,以在单晶硅片上制成各种集成电路元件为终点
2、后工序即封装测试环节,以最终制成集成电路产品为终点。
对于逻辑器件,简单地说,首先是在衬底上划分制备晶体管的区域,然后是离子注入实现N型和P型区域,其次是做栅极,随后又是离子注入,完成每一个晶体管的源极和漏极。
这部分工艺流程是为了在衬底上实现N型和P型场效应晶体管,又被称为前道工艺。
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