这两个词含义是不一样的。

1、严律于己。其意思是：严格的律例加到了自己的身上，是外在的刑律加于己身。这是讲的外在的外物对自己的作用。

2、严于律已，其含义是，自己严格要求自己，自己的所做所为，都是按照事理去做的。这是一个人内在的品质的体现。