ppbw单位是以原子数计的浓度,a是atom(原子)

如果要将高纯硅中痕量杂质的原子密度转换为质量浓度(ppmw或者ppbw) 可以用: 杂质的原子密度×杂质元素的原子量/(5e22×28)=杂质的质量浓度 (ppmw或者ppbw)

如果要将高纯硅中痕量杂质的原子密度转换为原子数浓度(ppma或者ppba) 可以用: 杂质的原子密度/5e22=杂质的原子数浓度 (ppma或者ppba) 关键是这个半导体工业中对每立方厘米中硅原子数的规定,这个很重要