氮化硅更好。

氮化硅膜与氧化硅膜相比较具有表面化学性能稳定等优点，故氮化硅膜可用于半导体工业。

氮化硅是一种无机物，化学式为Si3N4。它是一种重要的结构陶瓷材料，硬度大，本身具有润滑性，并且耐磨损，为原子晶体高温时抗氧化。而且它还能抵抗冷热冲击，在空气中加热到1000℃以上，急剧冷却再急剧加热，也不会碎裂。